Máy bơm màng vi mô đề cập đến máy bơm chân không siêu nhỏ, với vòi xả vào và ra, vòi xả từng cái, thông qua thiết bị cơ học bên trong để làm cho màng ngăn bên trong máy bơm chân không chuyển động qua lại và có thể tiếp tục tạo thành chân không hoặc âm áp suất ở lối vào, sự hình thành của áp suất dương vi mô ở vòi xả; Môi chất làm việc chủ yếu là khí, một loại khí cụ nhỏ gọn. Bơm màng siêu nhỏ có hai cách làm việc, sau đây chi tiết xin giới thiệu nguyên lý hoạt động của bơm chân không màng siêu nhỏ.
Máy bơm màng điện siêu nhỏ là một động cơ DC siêu nhỏ (điện áp chung là động cơ 5V, 12V, 24V) làm thiết bị truyền động điện, dẫn động thiết bị lệch tâm cơ học bên trong làm chuyển động lệch tâm, truyền động bằng chuyển động lệch tâm bên trong màng bơm chuyển động tịnh tiến. Để cố định thể tích của khoang bơm nén khí (đóng điểm chảy máu nén, mở lỗ thông hơi áp suất dương vi mô), kéo, đóng lỗ thông hơi nén, khi điểm chảy máu hình thành áp suất âm), áp suất khí quyển với thế giới bên ngoài trong áp suất hút của bơm chân không chênh lệch, dưới tác dụng của chênh lệch áp suất, áp suất khí (hút) vào buồng bơm, sau đó xả ra khỏi lỗ thông hơi.
Bơm màng siêu nhỏ là sử dụng chuyển động quay của trục vít để hút và xả chất lỏng. Vít giữa của bơm màng vi mô dùng cho trục vít hoạt động, được dẫn động bằng chuyển động quay chính, trục vít ở cả hai bên của trục vít dẫn động, với chuyển động quay ngược trục vít chủ động. Ren trục vít chính và ren dẫn động là ren kép. Do vít ghép lưới với nhau và vít và tường lót khớp chặt chẽ với nhau, trong máy bơm màng vi mô giữa đầu vào và đầu ra, sẽ được ngăn cách thành một hoặc nhiều không gian kín. Khi chuyển động quay của trục vít và lưới, không gian kín được hình thành trong phía hút của bơm chân không liên tục, chất lỏng từ niêm phong buồng hút vào giữa chúng và vì buồng hút dọc theo trục vít liên tục đi đến đầu xả, sẽ được đóng lại trong quá trình xả chất lỏng, mỗi khoảng trống giống như một đai ốc quay trục vít liên tục chuyển động về phía trước, đây là nguyên lý hoạt động cơ bản của bơm màng siêu nhỏ.